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科技日報記者 ?張曄
2月18日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站（Nano-X）二期項目通過總體驗收，這為未來納米材料研究及納米器件制造提供了全新路徑與可能。
來自中國科學技術大學、中科院化學研究所、中科院蘇州醫工所、中國電子科技集團公司電子科學研究院、蘇州大學5所高校、科研院所組成的7人專家組認為，經過兩期建設，實驗站已建成世界上規模最大、功能最齊全的真空互聯綜合實驗裝置，項目圓滿完成了項目合同書規定的各項研發任務，達到合同規定的各項技術指標，整體水平達到國際先進。
Nano-X是集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科學裝置，面向國家戰略需求和科學前沿重大問題，開創了一條變革性的技術路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起，突破常規超潔凈環境下，獨立分散設備難以實現的材料本征特性、原子級精準調控、表/界面調控和異質集成、器件原位制造等局限，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建制化、體系化支撐。
目前， 已有近40臺各種大型設備通過203米長的超高真空管道互聯，建成了材料制備模塊、微觀機理準原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊、氣氛可控模塊和真空互聯控制與對接系統等五大模塊平臺，形成了全真空環境下的納米材料和器件研究開發的綜合實驗系統。
自2019年試運行起，實驗站累計開展合作課題651個，服務用戶數量220多家；服務機時80000多小時。在能源材料、低維材料、高溫超導材料等領域形成了核心研發能力，產生了一批重要成果，初步建立了具有國際影響力的科技創新能力。
